光柵尺又稱光柵尺位移傳感器(光柵尺傳感器),是利用光柵的光學(xué)原理工作的測(cè)量反饋裝置。光柵尺常用于數(shù)控機(jī)床的閉環(huán)伺服系統(tǒng)中,可用于檢測(cè)直線位移或角位移。被測(cè)輸出信號(hào)為數(shù)字脈沖,具有檢測(cè)范圍大、檢測(cè)精度高、響應(yīng)速度快的特點(diǎn)。
比如在數(shù)控機(jī)床中,經(jīng)常用來檢測(cè)刀具和工件的坐標(biāo),觀察和跟蹤進(jìn)給誤差,起到補(bǔ)償?shù)毒哌\(yùn)動(dòng)誤差的作用。
光柵尺根據(jù)制造方法和光學(xué)原理的不同分為透射光柵和反射光柵。
光柵尺由標(biāo)尺光柵和光柵讀數(shù)頭組成。一般情況下,標(biāo)尺固定在機(jī)床的活動(dòng)部件上,光柵讀數(shù)頭安裝在機(jī)床的固定部件上,指示光柵安裝在光柵讀數(shù)頭內(nèi)。
光柵檢測(cè)裝置的關(guān)鍵部分是光柵讀數(shù)頭,它由光源、會(huì)聚透鏡、指示光柵、光電元件和調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)組成。光柵讀數(shù)頭的種類很多,根據(jù)結(jié)構(gòu)特點(diǎn)和應(yīng)用場(chǎng)合可分為直接接收讀數(shù)頭(或硅光電池讀數(shù)頭、鏡面讀數(shù)頭、分光鏡讀數(shù)頭、金屬光柵反射讀數(shù)頭)。
直線光柵尺作為提高機(jī)床效率的一種方法,應(yīng)用越來越廣泛。線性光柵尺系統(tǒng)廣泛應(yīng)用于車床、銑床等通用機(jī)床,以及包括專有設(shè)備、專業(yè)機(jī)械、半導(dǎo)體制造器件、精密測(cè)量儀器在內(nèi)的所有機(jī)床。與傳統(tǒng)的撥盤定位操作相比,大大提高了機(jī)器的工作效率。
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